ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ И МАТЕРИАЛЫ

Оборудование для шлифовки и очистки

Полуавтоматический одноосный шлифовальный станок
IVG-2020/IVG-3020

Автоматический шлифовальный станокIVG-2040/IVG-2045/
IVG-3040/IVG-3045

ПОЛИРОВАЛЬНАЯ МАШИНА
TSP-400/450

МАШИНА ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОСЛЕ ХМП
412S/412R/426L/812L

ПОЛУАВТОМАТИЧЕСКИЙ ОДНООСНЫЙ ШЛИФОВАЛЬНЫЙ СТАНОК
IVG-2020/IVG-3020

Высокоточный шлифовальный станок с простым управлением, широким набором функций и высокой экономичностью, оснащен автоматическим измерением толщины и системой компенсации при ручной загрузке, может автоматически шлифовать пластины до необходимой величины. Может быть настроен в соответствии с требованиями заказчика и имеет широкий спектр применения.

Преимущества:

  • Полная функциональность. Автоматическое измерение и компенсация толщины, программа многоступенчатого шлифования, ожидание перегрузки и другие функции, отвечающие различным технологическим требованиям.
  • Простое управление. Промышленная компьютерная система ПК, управление с помощью сенсорного экрана, автоматический процесс шлифования одной кнопкой, а также ручная загрузка и разгрузка.
  • Возможность донастройки. Может быть настроен в соответствии с потребностями клиента и может соответствовать требованиям процесса шлифования и утонения различных полупроводниковых материалов.
Модель станкаIVG-2020IVG-3020
Размер шлифовального кругаØ203(НД)ммØ303(НД)мм 
Вращение шлифовального круга 0~6000 об/мин 0~4000 об/мин 
Вращение рабочей зоны0~400 об/мин 0~260 об/мин 
Ход по оси Z130 мм 130 мм 

АВТОМАТИЧЕСКИЙ ШЛИФОВАЛЬНЫЙ СТАНОК IVG-2040/IVG-2045/
IVG-3040/IVG-3045 

Полностью автоматический шлифовальный станок представляет собой высокоточный шлифовальный станок, оснащенный полностью автоматической системой загрузки и разгрузки, использует манипулятор для захвата пластин, имеет функции автоматического центрирования, очистки и сушки. Он может осуществлять автоматический процесс шлифования от кассеты к кассете и сохранять пластины сухими внутри и снаружи.

Преимущества:

  • Полная функциональность. Автоматическое измерение и компенсация толщины, программа многоступенчатого шлифования, ожидание перегрузки и другие функции, отвечающие различным технологическим требованиям.
  • Продвинутая конфигурация. Одно- или двухосный шлифовальный агрегат.
  • Полностью автоматическая система. Автоматическая загрузка и выгрузка, автоматическая система измельчения, позволяющая сохранять вафли сухими внутри и снаружи.
  • Возможность донастройки. Может быть настроен в соответствии с потребностями клиента и может соответствовать требованиям процесса шлифования и утонения различных полупроводниковых материалов.
Модель станкаIVG-2040 IVG-2045 IVG-3040 IVG-3045 
Макс. размер подложки8 дюймов8 дюймов12 дюймов12 дюймов
Кол-во валов шлиф. круга1212
Размер шлиф. круга Ø203(НД)м Ø203(НД)м Ø303(НД)м Ø303(НД)м 
Вращение шлиф. круга 0~6000 об/мин 0~6000 об/мин 0~4000 об/мин 0~4000 об/мин 
Вращение рабочей зоны0~400 об/мин 0~400 об/мин 0~260 об/мин 0~260 об/мин 
Ход по оси Z130 мм 130 мм 130 мм 130 мм 

Полировальная машина
TSP-400/450

Машины этой серии представляют собой напольные высокоточные односторонние полировальные машины. Его можно сочетать с медной пластиной, жестью, стеклянной пластиной, пластиной из нержавеющей стали и т. д., а также с различными типами полировальной суспензии, подходящей для высокоточной полировки различных полупроводниковых материалов.

Преимущества:

  • Чугунный корпус, высокая устойчивость оборудования.
  •  Дополнительная гидравлическая система токарного инструмента с жесткой направляющей.
  • Функция контроля температуры полировальной пластины.
  • Функция вращения и качания полировальной головки.
МодельTSP-400 TSP-450 
Размер полировальной пластины 400 мм 450 мм 
Размер керамической пластины139 мм 159 мм 
Кол-во полировальных головок2 2
Вращение полировальной пластины 0~90 об/мин 0~90 об/мин 
Вращение полировальной головки 0~60 об/мин 0~60 об/мин 

Машина для очистки после ХМП
412S/412R/426L/812L

Машины этой серии представляют собой специальные машины для очистки после химико-механической полировки. Они имеют различные конструкции, такие как тип с одной станцией, индексный тип и линейный тип, могут использоваться в различных приложениях. Машина линейного типа оснащена полностью автоматической системой загрузки и разгрузки.

Машины этой серии оснащены ополаскивателем, двухсторонней щеткой, мегазвуковой очисткой, сушкой N2, функциями высокоскоростной отжимной сушки, высокой степенью интеграции, небольшим пространством для ног, влажным и сухим, подходят для очистки всех видов пластин после CMP.

Преимущества:

  • Полная функциональность. Машины этой серии оснащены функциями полоскания, двусторонней чистки, мегазвуковой очистки, сушки N2 и высокоскоростной отжимной сушки.
  • Простое управление. Система ПЛК, управление с помощью сенсорного экрана, автоматическая чистка и очистка одной кнопкой, машина линейного типа оснащена полностью автоматической системой загрузки и разгрузки.
  • Высокая совместимость. Совместимость с пластинами размером от 4 до 12 дюймов при замене крепления.
Модель412S412R426L812L
Камеры очистки1466
Загрузка и разгрузка РучнойРучнойРучнойАвтоматический
Размер подложки4-12 дюймов4-12 дюймов4-6 дюймов8-12 дюймов
ПромывкаDIW промывка DIW промывка DIW промывка DIW промывка 
Щеточный механизм 2 кисти ПВА, двусторонняя кисть. 2 кисти ПВА, двусторонняя кисть. 2 кисти ПВА, двусторонняя кисть. 2 кисти ПВА, двусторонняя кисть. 
Вращение кисти30-200 об/мин 30-200 об/мин 30-200 об/мин 30-200 об/мин 

Выберите необходимое для вас оборудование от AISEMICON.
Наши специалисты помогут вам с выбором и сориентируют по условиям поставки

Вернуться к оборудованию